创新成果

　　基于电子束的空间电势限域效应，精 确控制材料原子的断键脱附、迁移和积聚过程，直写3D 微纳结构。并利用建模软件与硬件结合，完成直写过程的数字化，实现基于空间电势限域的3D微纳结构直写系统。该设备弥补了目前创新型结构成型原理及相关设备的欠缺，解决了直写设备在精度控制、效率及节能环保等方面的缺陷与不足，可成功实现材料学领域纳尺度材料成型精确控制、金属/半导体3D 微纳结构直写构筑。